XYZ超精密平台
1、适合精密级产品检测加工
2、 直线度、平面度±1.5um
3、 速度连波0.2%左右
4、实现高平面度及轨迹控制
5、高加速度、 高速度
激光加工、各种检测设备、芯片检测、晶元划片、工业制造、玻璃切割、3C电子产业等。
产品规格 | 0300×0300 | 0400×0400 | 0500×0500 |
行程(mm) | 300×300 | 400×400 | 500×500 |
Ecoder解析度 | 10nm-100nm | ||
最大速度 | 1500mm/s | ||
最大加速度 | 2g | ||
重复定位精度 | ±0.3μm | ±0.3μm | ±0.3μm |
定位精度 | ±0.4μm | ±0.5μm | ±0.6μm |
直线度 | ±1μm | ±1.3μm | ±1.5μm |
平面度 | ±1um | ±1.5um | ±1.5um |
俯仰 | 3arcsec | 3arcsec | 4arcsec |
偏航 | 3arcsec | 3arcsec | 4arcsec |
最大负载 | 50kg(可非标定制) |