XYZ超精密平台
产品描述
Product description
精密XYZ直线电机平台是典型精密加工平台。采用超精密级别滚珠导轨，高精密的天然大理石精密基座，为直线电机平台高精度提供保障，同时采用高分辨率光栅反馈机构保证了系统的重复精度。
产品特性
Product Features
1、适合精密级产品检测加工
2、 直线度、平面度±1.5um
3、 速度连波0.2%左右
4、实现高平面度及轨迹控制
5、高加速度、 高速度
产品应用
Applications
激光加工、各种检测设备、芯片检测、晶元划片、工业制造、玻璃切割、3C电子产业等。
技术参数
TECHNOLOGY PARAMETERS
| 产品规格 | 0300×0300 | 0400×0400 | 0500×0500 |
| 行程(mm) | 300×300 | 400×400 | 500×500 |
| Ecoder解析度 | 10nm-100nm | ||
| 最大速度 | 1500mm/s | ||
| 最大加速度 | 2g | ||
| 重复定位精度 | ±0.3μm | ±0.3μm | ±0.3μm |
| 定位精度 | ±0.4μm | ±0.5μm | ±0.6μm |
| 直线度 | ±1μm | ±1.3μm | ±1.5μm |
| 平面度 | ±1um | ±1.5um | ±1.5um |
| 俯仰 | 3arcsec | 3arcsec | 4arcsec |
| 偏航 | 3arcsec | 3arcsec | 4arcsec |
| 最大负载 | 50kg（可非标定制） | ||
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