十字结构直线电机平台

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XYZ超精密平台

XYZ超精密平台

产品描述

Product description

精密XYZ直线电机平台是典型精密加工平台。采用超精密级别滚珠导轨,高精密的天然大理石精密基座,为直线电机平台高精度提供保障,同时采用高分辨率光栅反馈机构保证了系统的重复精度。

产品特性

Product Features

1、适合精密级产品检测加工

2、 直线度、平面度±1.5um

3、 速度连波0.2%左右

4、实现高平面度及轨迹控制

5、高加速度、 高速度

产品应用

Applications

激光加工、各种检测设备、芯片检测、晶元划片、工业制造、玻璃切割、3C电子产业等。



技术参数

TECHNOLOGY PARAMETERS



产品规格 0300×0300 0400×0400 0500×0500
行程(mm) 300×300 400×400 500×500
Ecoder解析度 10nm-100nm
最大速度 1500mm/s
最大加速度 2g
重复定位精度 ±0.3μm ±0.3μm ±0.3μm
定位精度 ±0.4μm ±0.5μm ±0.6μm
直线度 ±1μm ±1.3μm ±1.5μm
平面度 ±1um ±1.5um ±1.5um
俯仰 3arcsec 3arcsec 4arcsec
偏航 3arcsec 3arcsec 4arcsec
最大负载 50kg(可非标定制)

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